logo search
Основные положения

7.3. Надежность технологического процесса

Под надежностью технологического процесса понимают его способность обеспечить изготовление годных изделий, как по точности отдельных параметров, так и по комплексу физикохимических характеристик. Впервые эта проблема остро встала при производстве изделий микроэлектроники, когда дефекты материала на атомарном уровне вызывали получение неработоспособных изделий. Для учета таких явлений был введен коэффициент выхода годных  на технологической операции, который был численно равен вероятности получения годного изделия.

Для технологического процесса, состоящего из к операций, имеющих коэффициент выхода годных соответственно i процент выхода годных всего технологического процесса - к можно определить по формуле: